關于我們產品中心新聞中心資料下載技術文章客戶咨詢聯系我們

產品目錄

聯系我們

名稱：上海乾拓貿易有限公司
上海地址：上海市嘉定區嘉涌路99弄6號713室
聯系人;沈雪
企業QQ:2880626081
手機；18918574312（微信）
電話；021-69000975
郵箱:18918574312@163.com

聯系人：羅丹
QQ：2880626082
直線電話：021-39526590
聯系人：羅小姐 18917038407（同微信）
郵箱：18917038407@163.com

聯系人：章瑩玲
企業QQ:2880626085
手機；18918572467（微信）
電話；021-69000973
郵箱:18918572467@163.com

聯系人：王亞波
QQ:2880626088
021-39529839-8012
手機：17321056802（同微信）
郵箱:17321056802@163.com

技術文章

首頁 >>> 技術文章

德國SICK傳感器的研究概況的資料有哪些

發布時間:2016-04-01

德國SICK傳感器的研究概況的資料有哪些
德國SICK傳感器市場上用于在*溫壓力測量領域中替代擴散硅壓力傳感器理想產品，但多晶硅在結構上存在長程無序性，使多晶硅電阻膜的靈敏度要低于單晶硅電阻膜的靈敏度。如果用單晶硅電阻膜替代多晶硅電阻膜，可以獲得良*的*溫**和更*的靈敏度。

基于這種想法，天津大學姚素英教授等人，目前正對單晶硅德國SICK傳感器的可行性以及制作工藝進行深入的研究。該傳感器用單晶硅材料做應變電阻，并以一層SiO2薄膜將硅襯底與應變電阻層隔離，形成單晶硅SOI結構。

其制作方法是，用硅片直接鍵合減薄的單晶硅SOI材料，襯底為*電阻率P型單晶硅，然后對單晶硅進行*濃度B擴散，并用等離子體干法刻蝕電阻條，用LPCVD法雙面淀積Si3N4保護膜，背面光刻腐蝕窗口，各向異性腐蝕硅杯；后光刻引線孔，并做多層金屬化。上述步驟完成后，再對芯片進行靜電封接、壓焊、封裝等后道工序。

與德國SICK傳感器相比，單晶硅做應變電阻材料，具有較*的靈敏度，單晶硅材料具有相同*的縱向和橫向靈敏靈敏因子，有利于設計優良的壓阻電橋，**傳感器有的輸出；應變電阻與襯底之間用SiO2介質層隔離，減小了漏電流，顯著提*了傳感器的工作溫度范圍；由于Si與SiO2之間的直接鍵合，接觸面很匹配，沒有其它過濾層，避免了附加應力的產生，提*了傳感器的電學與力學特性；同時，單晶硅SOI傳感器的制作工藝與傳統的CMOS制作工藝兼容，易于實現集成化。所以這是一種**理想的*溫壓力傳感器。

上一篇：MAC電磁閥各種螺紋連接規格？
下一篇：超低溫BURKERT電磁閥的主要優點分析？

地址：上海嘉定嘉涌路99弄6號713 郵編：201812 易展提供技術支持滬ICP備09006758號-20 網站管理入口

国产毛片久久久久久国产毛片,亚洲欧洲日本无在线码,亚洲色在线无码国产精品,久久久亚洲一区二区三区

德國SICK傳感器的研究概況的資料有哪些